表面被覆窒化珪素質耐熱部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-327523
公開番号（公開出願番号）：特開平7-187865
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【構成】周期律表第3a族元素酸化物(RE2 O3 )とSiO2 からなる窒化珪素質焼結体の表面にスラリー塗布法、またはプラズマ溶射法によりジルコン(ZrSiO4 )を10〜1000μmの厚みで耐熱被覆層を形成する。【効果】窒化珪素質焼結体と被覆層の熱膨張差を小さくでき、室温と高温の繰返し熱疲労においても亀裂や剥離の生じない耐熱性と耐食性に優れた表面被覆窒化珪素質耐熱部材を得る事ができる。

請求項（抜粋）：