特許

J-GLOBAL ID：200903058826613517

計測装置

発明者： 青砥 和明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-098194
公開番号（公開出願番号）：特開2008-256497
出願日： 2007年04月04日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：

【課題】計測部分を目視で確認できる計測装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る計測装置は、プローブ光23を被検物200に向けて走査して照射させる主走査ミラー130および副走査ミラー140と、被検物によって反射された反射プローブ光30とプローブ光との位相差から、被検物の走査領域の立体形状を表す三次元座標を測定する測定手段とを有して構成されている。さらに、この計測装置は、可視光領域の波長を有したマーカー光24を発射するマーカー光源110と、マーカー光を反射するとともにプローブ光を透過するダイクロイックミラー120とを備えており、これらにより、プローブ光とダイクロイックミラーにおいて反射されたマーカー光とを、同一光路上に重ねた状態で走査して被検物に照射する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

可視光以外の成分を含む測定光を被検物に向けて走査して照射させる走査手段と、 前記被検物によって反射された前記測定光の前記反射に基づく遅延から、前記被検物の走査領域の立体形状を表す三次元座標を測定する測定手段とを有する計測装置において、 可視光領域の波長を有した照明光を照射する照明手段と、 前記照明光と前記測定光を合波する合波手段とを有し、 前記測定光と前記合波手段が合波した前記照明光とを、前記被検物に照射することを特徴とする計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01C 3/06

FI (3件)：

G01B11/24 A ,  G01C3/06 140 ,  G01C3/06 120Q

Fターム (30件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA19 ,  2F065AA53 ,  2F065BB29 ,  2F065FF13 ,  2F065FF66 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG21 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL13 ,  2F065LL20 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065NN02 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F112AD10 ,  2F112CA08 ,  2F112DA09 ,  2F112DA10 ,  2F112DA25 ,  2F112DA26 ,  2F112EA01 ,  2F112GA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 三次元形状測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-304830   出願人：株式会社リコー