特許
J-GLOBAL ID：200903058857885795
冷陰極型蛍光表示装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003675
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208076
出願日： 1999年01月11日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 走査線と信号線の交差部分に形成したMIM型微小電子源素子を用いる冷陰極型蛍光表示装置における信号配線の接続抵抗の低減と段切れを防止する。【解決手段】 下部電極(走査線)2Lと電子放出を行う上部電極4でトンネル絶縁膜6挟んだ構造のトンネルダイオードを用いた上記電子源素子において、下部電極2Lと層間絶縁膜5を介して形成した低抵抗の給電用信号線3上に接する上部電極4が、給電用信号線3に形成したテーパー部Cを経てトンネル絶縁膜6に接する構造とする。【効果】 電子源素子を駆動する信号配線の接続抵抗の低減と段切れを防止できるので、アレイ状に配置した冷陰極型蛍光表示装置の大型化が可能になる。
請求項（抜粋）：
基板上に複数の並列走査線電極からなる走査線電極列と複数の並列信号線からなる信号線電極列とが交差するように配置された各交差部分に、電子を放出する電子源素子を設け、該電子源素子がアレイ状に多数配置された電子源アレイ基板と、該電子源アレイ基板にスペーサを介して対向配置され蛍光体が塗布されている蛍光表示板とが一体化されて構成される冷陰極型蛍光表示装置において、前記電子源素子は、電子放出を行う上部電極と、下部電極との2枚の電極に挟まれた絶縁膜からなるトンネルダイオードで構成され、前記上部電極が、前記信号線電極の上部に接すると共に、前記絶縁膜へ信号線電極端に設けたテーパー構造を経て接続されていることを特徴とする冷陰極型蛍光表示装置。
IPC (4件)：
H01J 31/12
, H01J 1/312
, H01J 9/02
, H01J 29/04
H01J 31/12 C
, H01J 1/30 M
, H01J 9/02 M
, H01J 29/04
5C031DD16
, 5C031DD19
, 5C036EE19
, 5C036EF14
, 5C036EG15
, 5C036EH01
