特許
J-GLOBAL ID:200903058872389427
端面発光型半導体装置、その製造方法及び光空間伝送装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-260984
公開番号(公開出願番号):特開2002-076432
出願日: 2000年08月30日
公開日(公表日): 2002年03月15日
要約:
【要約】【課題】 発光効率を低下させることなく、比較的大きな光出力を得ることが可能な端面発光型半導体装置を提供する。【解決手段】 基板が、相互に平行に配置された第1及び第2の端面と、該第1及び第2の端面を接続する主面とを有する。主面上に活性層が形成されている。活性層の上に、第1の端面上の点と第2の端面上の点とを接続する経路に沿って尾根状部分が配置されている。尾根状部分は、活性層の屈折率よりも低い屈折率を有する半導体材料で形成されて導波路を画定する。経路は、第1の端面側の第1の部分と第2の端面側の第2の部分とから構成されている。第1の端面の主面内に向かう法線と第1の部分とが第1の角度をなす。第2の端面の主面内に向かう法線と第2の部分とが、第1の角度よりも小さな第2の角度をなす。電極が、活性層のうち前記経路に沿った領域に電流を注入する。
請求項(抜粋):
相互に平行に配置された第1及び第2の端面と、該第1及び第2の端面を接続する主面とを有する基板と、前記主面上に形成され、キャリアの注入によって発光する半導体材料からなる活性層と、前記活性層の上に、前記第1の端面上の点と前記第2の端面上の点とを接続する経路に沿って配置された尾根状部分であって、該尾根状部分が前記活性層の屈折率よりも低い屈折率を有する半導体材料で形成されて導波路を画定し、前記経路が前記主面に沿い、前記第1の端面側の第1の部分と前記第2の端面側の第2の部分とから構成され、前記第1の部分と前記第1の端面とが接続された点において、前記第1の端面の前記主面内に向かう法線と前記第1の部分とが第1の角度をなし、前記第2の部分と前記第2の端面とが接続された点において、前記第2の端面の前記主面内に向かう法線と前記第2の部分とが、前記第1の角度よりも小さな第2の角度をなす前記尾根状部分と、前記活性層のうち前記経路に沿った領域に電流を注入する電極とを有する端面発光型半導体装置。
IPC (6件):
H01L 33/00
, H04B 10/105
, H04B 10/10
, H04B 10/22
, H04B 10/28
, H04B 10/02
FI (3件):
H01L 33/00 B
, H04B 9/00 R
, H04B 9/00 W
Fターム (16件):
5F041AA04
, 5F041AA13
, 5F041CA05
, 5F041CA34
, 5F041CA35
, 5F041CA39
, 5F041CA53
, 5F041CA57
, 5F041CA65
, 5F041CA74
, 5F041CA76
, 5F041DA03
, 5F041FF14
, 5K002BA14
, 5K002BA21
, 5K002FA03
引用特許:
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