特許
J-GLOBAL ID：200903058892152504
電子プローブマイクロアナライザ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199809
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027621
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：
【要約】【課題】 測定粒子の位置及び幾何学上の特徴と化学組成の特徴の相互関係を一目で認識できるようにした電子プローブマイクロアナライザを提供する。【解決手段】 電子像の粒子解析により得られた粒子の位置と幾何学上の特徴に基づき電子ビームで分析を行わせる分析制御装置8と、制御された電子ビームの試料への照射により発生した特性X線を検出して粒子の分析を行い、その化学組成に基づきケミカルタイプを判定する装置13と、試料の電子像上に粒子のケミカルタイプと粒子の位置及び形状とを対応させて識別表示する表示装置14とを設けて、電子プローブマイクロアナライザを構成する。
請求項（抜粋）：
電子ビームを試料表面に照射し発生する特性X線を検出して元素分析を行う電子プローブマイクロアナライザにおいて、試料表面からの2次電子又は反射電子又はX線を検出し試料の電子像又はX線像を収集する手段と、収集された電子像又はX線像の粒子解析を行い粒子の位置と幾何学上の特徴を計測する手段と、計測された粒子の位置と幾何学上の特徴に基づき電子ビームを制御して分析を行う分析制御手段と、制御された電子ビームの照射により発生した特性X線を検出して粒子の分析を行い、その化学組成に基づきケミカルタイプを判定する手段と、前記試料の電子像又はX線像上に粒子のケミカルタイプと粒子の位置及び幾何学上の特徴とを対応させて識別表示する表示手段とを備えていることを特徴とする電子プローブマイクロアナライザ。
Fターム (19件)：
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001BA07
, 2G001BA14
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001EA01
, 2G001FA06
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA01
, 2G001HA03
, 2G001HA07
, 2G001HA13
, 2G001JA02
, 2G001JA03
, 2G001JA13
, 2G001KA01
, 2G001MA04
審査官引用 (3件)
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特開昭60-254544
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特開平3-034249
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局所分析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-238653
出願人：株式会社神戸製鋼所
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