特許
J-GLOBAL ID：200903058899699380
超高真空容器及び超高真空部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075843
公開番号（公開出願番号）：特開平10-265935
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 大気圧より短時間で超高真空状態を達成することのできる超高真空容器及び超高真空部品の提供。【解決手段】 チタン又はチタン合金製の超高真空容器及び超高真空部品において、真空にさらされる表面に薄いチタンの酸化層、特に緻密な結晶構造を有する酸化層を設ける。
請求項（抜粋）：
チタン又はチタン合金製の超高真空容器及び超高真空部品であって、真空にさらされる表面に薄いチタンの酸化層が形成されていることを特徴とする超高真空容器及び超高真空部品。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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