特許
J-GLOBAL ID:200903058908183774

抵抗率、電気伝導率及び/又は誘電率の測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): ▲吉▼田 繁喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-073147
公開番号(公開出願番号):特開平9-243683
出願日: 1996年03月05日
公開日(公表日): 1997年09月19日
要約:
【要約】【課題】 小規模で作製容易な回路を用い、フィードバックループの必要がなく、安定で高速に応答できる高精度な抵抗率、電気伝導率及び/又は誘電率の測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 測定プローブ1の電圧印加極PB にはD/A変換器2により電圧が印加され、他方の電圧印加極PA は電流増幅器4に接続される。各電界検出極P1 ....Pn のうちの任意の2本がアナログマルチプレクサ5a,5bにより選択され、その間の電圧が差動増幅器6により検出される。電流増幅器と差動増幅器の出力は、アナログスイッチ7で切り換えられ、いずれかの出力がA/D変換器8に接続される。DSP(デジタルシグナルプロセッサ)3は、A/D変換器に入力される電界検出極で検出した電圧波形及び電圧印加極に流れる電流波形に、D/A変換器より出力した正弦波と同一周期で一定の位相差をもつ複数の正弦波をそれぞれ乗算した後、平滑化する数値演算を行う。
請求項(抜粋):
被測定物に対し、2本の電圧印加極と2本以上の電界検出極とを用いて、抵抗率、電気伝導率及び誘電率よりなる群から選ばれた少なくとも1つを測定する方法において、被測定物に対して電圧印加極を介して電圧を印加し、これによって生じた電界を電界検出極で検出し、検出した電圧波形及び電圧印加極に流れる電流波形をデジタル変数に変換し、被測定物の抵抗率、電気伝導率又は誘電率を算出することを特徴とする測定方法。
IPC (3件):
G01R 27/02 ,  G01N 27/02 ,  G01R 27/26
FI (3件):
G01R 27/02 R ,  G01N 27/02 Z ,  G01R 27/26 H
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 回路素子の定数測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-319395   出願人:日置電機株式会社
  • 特開昭57-106870
  • 特開昭57-017868
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