特許
J-GLOBAL ID：200903058953645495
オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-237453
公開番号（公開出願番号）：特開2009-071011
出願日： 2007年09月13日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：
【課題】 例えば被照射面を照明する照明光学系に適用した場合に、各屈折面の面形状誤差などの影響を小さく抑えて被照射面での照度分布を均一化することのできるオプティカルインテグレータ。【解決手段】 波面分割型のオプティカルインテグレータ(9)は、一次元的または二次元的に配列された複数の屈折面(9ab,9bb)と、複数の屈折面において互いに隣り合う複数の屈折面(9bb)の間の領域(9c)に形成された少なくとも1つの回折光学面(9d)とを備えている。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
波面分割型のオプティカルインテグレータにおいて、
一次元的または二次元的に配列された複数の屈折面と、
前記複数の屈折面において互いに隣り合う複数の屈折面の間の領域に形成された少なくとも1つの回折光学面とを備えていることを特徴とするオプティカルインテグレータ。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 19/00
H01L21/30 515D
, G03F7/20 521
, G02B19/00
2H052BA02
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 5F046BA03
, 5F046CB13
, 5F046CB23
