照明光学装置、露光装置および露光方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-144198
公開番号（公開出願番号）：特開2004-056103
出願日： 2003年05月22日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】照明瞳面に形成される二次光源を構成する多数光源の充填度を向上させることができる照明光学装置。【解決手段】オプティカルインテグレータ(4)と被照射面(M,W)との間の光路中には、オプティカルインテグレータからの光束に基づいて多数光源を形成するフライアイレンズ(8)が配置されている。フライアイレンズは、光源側から順に、第1フライアイ部材(8a)と第2フライアイ部材(8b)とを有する。第1フライアイ部材の光源側の面および第2フライアイ部材の光源側の面には第1方向に沿って配列されたシリンドリカルレンズ群が形成され、第1フライアイ部材の被照射面側の面および第2フライアイ部材の被照射面側の面には第1方向と直交する第2方向に沿って配列されたシリンドリカルレンズ群が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光束に基づいて被照射面を照明するための照明光学装置において、前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置されたオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータと前記被照射面との間の光路中に配置されて、前記オプティカルインテグレータからの光束に基づいて多数光源を形成するフライアイレンズとを備え、前記フライアイレンズは、光源側から順に、第1フライアイ部材と第2フライアイ部材とを有し、前記第1フライアイ部材の光源側の面および前記第2フライアイ部材の光源側の面には、第1方向に沿って配列されたシリンドリカルレンズ群が形成され、前記第1フライアイ部材の被照射面側の面および前記第2フライアイ部材の被照射面側の面には、前記第1方向と直交する第2方向に沿って配列されたシリンドリカルレンズ群が形成されていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (5件)：

H01L21/027 , G02B3/00 , G02B3/06 , G02B19/00 , G03F7/20

FI (5件)：

H01L21/30 515D , G02B3/00 A , G02B3/06 , G02B19/00 , G03F7/20 521

Fターム (14件)：

2H052AC07 , 2H052AC12 , 2H052AC14 , 2H052AC17 , 2H052AC23 , 2H052AC30 , 5F046BA03 , 5F046CB08 , 5F046CB12 , 5F046CB13 , 5F046CB14 , 5F046CB19 , 5F046CB23 , 5F046DA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

照明光学装置並びに露光装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-157332 出願人：株式会社ニコン
露光光学系、光加工装置、露光装置及び光結合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-272166 出願人：オムロン株式会社
照明光学装置および該照明光学装置を備えた投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-355879 出願人：株式会社ニコン

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