特許

J-GLOBAL ID：200903058964187693

ガスレーザ装置用予備電離電極

発明者： 柿崎 弘司 ,  五十嵐 龍志 ,  堀田 和明
出願人/特許権者： 株式会社ウシオ総合技術研究所 ,  日本電気株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220802
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044543
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 第2電極も誘電体物質で覆って第1電極と第2電極の間に誘電体バリア放電を行わせるようにして、高繰り返し動作において、高出力、高安定、高効率なレーザ発振を可能にする。【解決手段】 レーザガスを電離して励起するための一対の主放電電極3、4と共にガスレーザ装置中に配置され、主放電電極3、4が伸びる方向に伸びていて誘電体物質8で覆われた第1電極7と、第1電極7に沿って伸びている第2電極9とからなる予備電離電極15において、第2電極9が誘電体物質10で覆われている。

請求項（抜粋）：

レーザガスを電離して励起するための一対の主放電電極と共にガスレーザ装置中に配置され、主放電電極が伸びる方向に伸びていて誘電体物質で覆われた第1電極と、第1電極に沿って伸びている第2電極とからなる予備電離電極において、前記第2電極が誘電体物質で覆われていることを特徴とするガスレーザ装置用予備電離電極。

Fターム (9件)：

5F071AA06 ,  5F071CC05 ,  5F071CC09 ,  5F071DD06 ,  5F071GG04 ,  5F071JJ02 ,  5F071JJ04 ,  5F071JJ05 ,  5F071JJ07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-255681
  
• エキシマレーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-292249   出願人：日新電機株式会社
• 特開平3-255681