特許

J-GLOBAL ID：200903058986678950

流体制御装置

発明者： 大見 忠弘 ,  平尾 圭志 ,  山路 道雄 ,  糸井 茂 ,  篠原 努 ,  池田 信一 ,  唐土 裕司 ,  小島 徹哉
出願人/特許権者： 大見 忠弘 ,  株式会社フジキン
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164902
公開番号（公開出願番号）：特開平9-016267
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】 配管のさい必要となる継手数、溶接箇所およびチューブ数を減少する。【構成】 流体制御装置1 は、マスフローコントローラ2 と、マスフローコントローラ2 の入口側に設けられた2つの開閉弁3,4 と、マスフローコントローラ2の出口側に設けられた3つの開閉弁5,6,7 とを備えている。入口側においては、パージ流体用開閉弁3 の上にメイン流体用開閉弁4 が重ねられており、出口側においては、真空吸引用開閉弁5 の上に排気用開閉弁6 が重ねられ、さらにこの上にメイン通路用開閉弁7 が重ねられている。

請求項（抜粋）：

流量または圧力を調整する調整器の入口側および出口側の少なくとも一方に、複数の弁よりなり複数の流路を切り換えて調整器の流路に連通させる弁装置が設けられている流体制御装置において、弁装置の複数の弁は、上下に重ねられていることを特徴とする流体制御装置。

IPC (2件)：

G05D 7/06 ,  G05D 16/20

FI (3件)：

G05D 7/06 Z ,  G05D 7/06 B ,  G05D 16/20 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ガス供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-045929   出願人：株式会社東芝, シーケーディ株式会社
• ガス供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-243874   出願人：シーケーディ株式会社
• 特開平1-307582