特許

J-GLOBAL ID：200903059008165262

回転式円筒状マグネトロンターゲットをスピンドルに取り付ける装置

発明者： モーガン,スティーブン ,  バンデルストラーテン,ヨハン ,  バンデルストラーテン,エルビーン ,  ゴビン,ガイ
出願人/特許権者： バンデルストラーテン エー.ベーファウベーアー ,  モーガン,スティーブン ,  バンデルストラーテン,ヨハン ,  バンデルストラーテン,エルビーン ,  ゴビン,ガイ
代理人 (1件)： 丸山 敏之 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-516872
公開番号（公開出願番号）：特表2002-515940
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】回転式円筒状マグネトロンターゲット(10)をスピンドル(20)へ着脱可能に取り付ける装置であって、ターゲットとスピンドルとの繋がり部に配置された単一の、水-真空密閉剤(40)を用い、スピンドルカラー(30)のネジを、ターゲット(10)の外周表面上のネジ(70)へ螺合させる。ネジ(70)はターゲットから取外し可能であって、効果的な組立て/分解及び再利用ができる。

請求項（抜粋）：

スピンドルに対し、回転式円筒状マグネトロンターゲットを取り付け、該ターゲットは、広い基板に対してスパッターコーティングを溶着するために用いられる装置であって、以下の構成を備えている; 端面のあるフランジを一端に持つ中空軸を有するスピンドル部材であって、該端面にはOリング溝に収まったOリングがあり、フランジ部は直径を有している; ネジが刻まれた外周面と端面とを有する円筒状ターゲット構造であり、該ターゲット構造は、前記スピンドル部材のフランジ部直径とほぼ等しい直径を有している; 内周面にネジが刻まれたカラーリングであって、該カラーリングは前記スピンドル部材のフランジ部に適合するように形成され、前記円筒状ターゲットの外周面のネジと係合し、前記円筒状ターゲットの端面を前記Oリングに接して、前記スピンドル部材の端面へ着脱可能に保持する、 回転式・円筒状マグネトロンターゲットをスピンドルへ取り付ける装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平6-507943
  
• 特開昭53-033985
  
• 円筒形マグネトロンシールド構造体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-004321   出願人：ザビーオーシーグループインコーポレイテッド