オメガ型エネルギーフィルタ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-041404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-302711
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】ドリフト長を短くして小型にすると共にフィルタの計算で求めた条件からのずれを少なくし、メリットファンクションを大きくする。【解決手段】 4つの磁場領域M1、M2、M3、M4により入射窓面Iからスリット面Sまでの電子ビームの軌道を順次Ω字状に偏向するオメガ型エネルギーフィルタにおいて、M3 の出射側端面からM4 の入射側端面までの距離L4 を50√U* /√U* (200)mm以下とし、偏向角Φを120°±5°の範囲とした。また、M2 とM3 との間の中心面からM3 の入射側端面までの距離L3 は、20√U* /√U* (200)mm≧L3 ≧10√U* /√U* (200)mmの範囲とし、M4 の出射側端面からスリット面までの距離L5は、30√U* /√U*(200)mm≦L5 ≦50mm√U* /√U*(200)の範囲とした。

請求項（抜粋）：

4つの磁場領域M1、M2 、M3 、M4 により入射窓から出射窓(スリット面)までの電子ビームの軌道を順次Ω字状に偏向するオメガ型エネルギーフィルタにおいて、第3の磁場領域M3 の出射側端面から第4の磁場領域M4 の入射側端面までの距離L4 を50√U* /√U* (200)mm(ここでU* は相対論補正を行った加速電圧;U* (200)は200kVでの値)以下とし、偏向角Φを120°±5°の範囲としたことを特徴とするオメガ型エネルギーフィルタ。

IPC (3件)：

H01J 49/44 , G21K 1/093 , H01J 37/26

FI (3件)：

H01J 49/44 , G21K 1/093 D , H01J 37/26

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭62-066553
特開昭62-066553
特開昭58-032347

全件表示

前のページに戻る