特許
J-GLOBAL ID:200903059021719870

パターン化された透明導電膜およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 土橋 皓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-081668
公開番号(公開出願番号):特開平11-278869
出願日: 1998年03月27日
公開日(公表日): 1999年10月12日
要約:
【要約】【課題】 優れた透明性と高い導電性を有するパターン化された透明導電膜および酸エッチングを行わず、安全で、工程数が少なく、微細なパターンを形成できるパターン化された透明導電膜の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】 Inと、Snと、W,Cr,Moのうち少なくとも1種以上の元素とを含有するパターン化された透明導電膜と、インジウム化合物と、錫化合物と、W,Cr,Moのうち少なくとも1種以上を含む化合物と、感光性樹脂とを含有する塗布液を用いて形成したパターン化された透明導電膜の製造方法を構成する。
請求項(抜粋):
Inと、Snと、W,Cr,Moのうち少なくとも1種以上の元素とを含有することを特徴とするパターン化された透明導電膜。
IPC (6件):
C03C 17/27 ,  B05D 1/32 ,  B32B 27/18 ,  C01G 15/00 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503
FI (6件):
C03C 17/27 ,  B05D 1/32 Z ,  B32B 27/18 J ,  C01G 15/00 B ,  H01B 5/14 B ,  H01B 13/00 503 B
引用特許:
審査官引用 (3件)

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