特許
J-GLOBAL ID：200903059040601031
静電チャック装置及び載置台
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-170543
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016996
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 静電チャック部の固定に使用される高分子接着剤又は低融点金属が真空処理の際に腐食することがない静電チャック装置及び載置台を提供する。【解決手段】 処理室2内部の載置台4の表面4aに高分子接着剤又は低融点金属によって接着された静電チャック部16を備え、静電チャック部16からの静電気力によって被処理物Wを吸着するための静電チャック装置5である。載置台4の周縁位置において露出している高分子接着剤又は低融点金属の露出部47を処理室2の内部空間から気密に隔離するための隔離手段60を有する。
請求項（抜粋）：
処理室内部の載置台の表面に高分子接着剤又は低融点金属によって接着された静電チャック部を備え、前記静電チャック部からの静電気力によって被処理物を吸着するための静電チャック装置において、前記載置台の周縁位置において露出している前記高分子接着剤又は低融点金属の露出部を前記処理室の内部空間から気密に隔離するための隔離手段を有することを特徴とする静電チャック装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
, H02N 13/00 D
