特許

J-GLOBAL ID：200903059073728746

強誘電体薄膜素子の製造方法

発明者： 宮下 悟
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267607
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119811
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【構成】 金属アルコキシドを主原料とするゾルゲル法による強誘電体薄膜の製造において、原料を加水分解したゾルに強誘電体酸化物微粒子を添加し、均一に混合して塗布液とすることを特徴とする強誘電体薄膜素子の製造方法。強誘電体酸化物微粒子の大きさは、0.01μm以上10μm以下である。【効果】 厚膜化が容易で、高い圧電ひずみ定数を持つ圧電素子を歩留まりよく提供できた。容易なプロセスで作製することができるため、低コストで微細化も可能である。

請求項（抜粋）：

金属アルコキシドを主原料とするゾルゲル法による強誘電体薄膜の製造において、原料を加水分解したゾルに強誘電体酸化物微粒子を添加し、均一に混合して塗布液とすることを特徴とする強誘電体薄膜素子の製造方法。

IPC (6件)：

H01B 3/00 ,  C01G 25/00 ,  H01L 41/24 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 27/108

FI (3件)：

H01L 41/22 A ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 27/10 325 J

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 厚膜無機酸化物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-124432   出願人：株式会社リコー