特許
J-GLOBAL ID：200903059096442530
イオンプレーティングによる耐高温酸化特性に優れた複合硬質皮膜の形成法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村田 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-183858
公開番号（公開出願番号）：特開平10-025566
出願日： 1996年07月12日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】イオンプレーティングを用いて基板上に飛躍的に向上した耐高温酸化特性(耐高温酸化温度:1000°C程度)を有するAl-Cr-N系複合硬質皮膜を形成する。【解決手段】真空チャンバー内に配置されたAlとCrの蒸気発生源から、AlとCrの混合蒸気を発生させ、同時に窒素ガスを真空チャンバー内に導入して、前記混合蒸気と窒素ガスとの反応生成物であるAl-Cr-N系複合硬質皮膜を基板上に形成させる。
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内に配置されたAl蒸気とCr蒸気の発生源から、Al蒸気とCr蒸気を発生させ、同時に窒素ガスを真空チャンバー内に導入して、前記AlとCrの混合蒸気と窒素ガスとの反応生成物であるAl-Cr-N系複合硬質皮膜を基板上に形成させることを特徴とするイオンプレーティングによる耐高温酸化特性に優れた複合硬質皮膜の形成法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/32 Z
, C23C 14/06 A
