画像形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-049546
公開番号（公開出願番号）：特開2003-248323
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】一画素中において、部分的に着色層の膜厚を変化させた、反射・透過両用LCDに好適に用いられる画像の簡便な形成方法を提供すること、およびスペーサと配向制御用突起の簡便な形成方法を提供する。【解決手段】第1のネガ型感光性樹脂層及び第2のネガ型感光性樹脂層が設けられた基体に、フォトマスクを介して露光、現像する画像形成方法において、前記フォトマスクが少なくとも2種類の光透過性パターンを有するものであり、且つ前記第1のネガ型感光性樹脂層と第2のネガ型感光性樹脂層との光感度比(第1/第2)が1より大きいことを特徴とする画像の形成方法である。

請求項（抜粋）：

基体上に、第1のネガ型感光性樹脂層を設ける工程Aと、前記第1のネガ型感光性樹脂層の層上に、さらに第2のネガ型感光性樹脂層を設ける工程Bと、前記第1のネガ型感光性樹脂層及び第2のネガ型感光性樹脂層が設けられた基体に、フォトマスクを介して露光する工程Cと、前記露光後の第1及び第2のネガ型感光性樹脂層を現像する工程Dを有する画像形成方法であって、前記フォトマスクを介して露光する工程Cが、少なくとも2種類の光透過性パターンを有するフォトマスクを介して露光するものであり、且つ前記第1のネガ型感光性樹脂層と第2のネガ型感光性樹脂層との光感度比(第1/第2)が1より大きいことを特徴とする画像形成方法。

IPC (12件)：

G03F 7/20 501 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , G02F 1/1337 , G02F 1/1339 500 , G03F 1/08 , G03F 7/004 505 , G03F 7/038 505 , G03F 7/095 , G03F 7/11 501 , G03F 7/16 , G03F 7/26 501

FI (12件)：

G03F 7/20 501 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , G02F 1/1337 , G02F 1/1339 500 , G03F 1/08 G , G03F 7/004 505 , G03F 7/038 505 , G03F 7/095 , G03F 7/11 501 , G03F 7/16 , G03F 7/26 501

Fターム (64件)：

2H025AB13 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025CA01 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CC11 , 2H025DA01 , 2H025DA13 , 2H025EA08 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB07 , 2H048BB14 , 2H048BB15 , 2H048BB42 , 2H048BB46 , 2H089LA01 , 2H089QA12 , 2H089TA01 , 2H089TA04 , 2H089TA12 , 2H090JA09 , 2H090JB02 , 2H090JB03 , 2H090JB11 , 2H090JC11 , 2H090LA02 , 2H090LA15 , 2H090MB14 , 2H091FA02Y , 2H091FB04 , 2H091GA06 , 2H091GA08 , 2H091LA12 , 2H095BA01 , 2H095BB01 , 2H095BC04 , 2H096AA28 , 2H096BA05 , 2H096BA20 , 2H096CA16 , 2H096CA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096KA02 , 2H096KA04 , 2H096KA05 , 2H096KA13 , 2H096LA16 , 2H096LA17 , 2H097FA02 , 2H097FA03 , 2H097GB00 , 2H097LA12 , 2H097LA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-301846
半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-080817 出願人：株式会社日立製作所

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