特許

J-GLOBAL ID：200903059112843914

検査装置

発明者： 吉川 透
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-117530
公開番号（公開出願番号）：特開2009-265026
出願日： 2008年04月28日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：

【課題】高い感度で高速に検査を行うことが可能な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置1は、ウェハWの表面に照明光を照射する照明部10と、照明光が照射されたウェハWの表面からの光を検出する2次元撮像素子33と、2次元撮像素子33により検出された光情報を読み出して、当該光情報に基づきウェハWの表面を検査するとともに、2次元撮像素子33における検査に適する部分を求めるCPU43とを備え、2次元撮像素子33は、光情報を画素単位で部分的に読み出すことが可能なCMOSイメージセンサであり、CPU43は、2次元撮像素子33における検査に適する部分の光情報のみを読み出して検査するようになっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検基板の表面に照明光を照射する照明部と、 前記照明光が照射された前記被検基板の表面を観察するための光学系と、 前記光学系の瞳面または瞳面と共役な面における光を検出するイメージセンサと、 前記イメージセンサにより検出された光情報を読み出して、前記光情報に基づき前記被検基板の表面を検査する検査部と、 前記イメージセンサにおける前記検査に適する部分を求める設定部とを備え、 前記イメージセンサにおいては、前記光情報を画素単位で部分的に読み出すことが可能であり、 前記検査部は、前記イメージセンサにおける前記検査に適する部分の光情報を読み出して前記検査することを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A ,  G01B11/24 K ,  H01L21/66 J

Fターム (50件)：

2F065AA21 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065CC17 ,  2F065DD06 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR05 ,  2F065RR09 ,  2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CC20 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EC03 ,  2G051EC07 ,  2G051ED07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA06 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB12 ,  4M106DB14 ,  4M106DB15 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 試料表面の観察方法及びその装置並びに欠陥検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-263149   出願人：株式会社日立製作所