光学研摩配合物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-532484
公開番号（公開出願番号）：特表2002-504588
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：

【要約】アルミナとセリアの成分を含む光学研磨スラリーは、いずれか単独の成分を使用したときよりも改良された研磨性能を与えることが見出された。

請求項（抜粋）：

5〜20重量%の固形分を含む水系スラリーからなる光学研磨配合物であって、固形分の85〜95重量%は0.5μm未満の平均粒子サイズを有するα-アルミナによって提供され、固形分の残りの20〜5重量%は、0.2〜4μmの平均粒子サイズを有する粉末状のセリアによって提供される光学研磨配合物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 , B24B 37/00 , C09G 1/02

FI (3件)：

C09K 3/14 550 D , B24B 37/00 H , C09G 1/02

Fターム (4件)：

3C058AA07 , 3C058CB01 , 3C058DA02 , 3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (9件)

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審査官引用 (2件)

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