特許
J-GLOBAL ID：200903059169347026
カラーフィルタ製造装置の集中監視システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298814
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133225
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 不良発生の原因を特定し、カラーフィルタ製品の品質を向上する。【解決手段】 コード印字装置1により基板に識別用のコードが印字される。製造処理の間、カラーフィルタ製造装置2からは稼働情報データ及びプロセスパラメータが、欠陥検査装置3からは検査結果が、コード読み取り装置4からは読み取られたコードがホストコンピュータ5に出力される。ホストコンピュータ5は、受け取った各種データと、製造するカラーフィルタの製品名等のデータとを対応付ける。ホストコンピュータ5は、対応付けたデータを表示すると共に、これらのデータからカラーフィルタ製造上の異常を検出してこれを管理者に通知する。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタを製造する過程の各種パラメータを計測し、パラメータデータを生成するセンサを有し、前記カラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造手段であって、前記からフィルタ製造の稼働状態を示す稼働情報データを生成し、前記パラメータデータと前記稼働情報データとを出力するカラーフィルタ製造手段と、前記からフィルタ製造手段により製造されるカラーフィルタに欠陥があるか否かを判定し、判定結果を示す判定データを出力する欠陥検査手段と、前記カラーフィルタ製造手段により製造されるカラーフィルタ毎に、識別用のコードを印字するコード印字手段と、前記コード印字手段により印字されたコードを読み取り、コードデータを生成するコード読み取り手段と、前記稼働情報データ、前記プロセスパラメータ、前記判定データ、及び前記コードデータを入力し、前記稼働情報データ、前記プロセスパラメータ、前記判定データ、及び前記コードデータとに従って、前記カラーフィルタの製造過程を集中的に監視する監視手段とを具備することを特徴とする集中監視システム。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101
, G06F 17/60
G02B 5/20 101
, G06F 15/21 R
