特許
J-GLOBAL ID：200903059174983437
フリンジスキャンを用いた干渉計装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083427
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275007
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【目的】 フリンジスキャンを用いた干渉計装置において、干渉縞測定時に得られる干渉縞画像データを利用して所定の解析を行う構成とすることにより、フリンジスキャンがどの程度正確に行われているかの指標となる情報を得る。【構成】 フリンジスキャンにより基準面22aが所定のステップ量移動する毎に干渉縞画像データを取り込んで被検面2aの各点の干渉縞強度を測定し、その測定結果を用いて被検面2aの各点の位相、平均光強度およびモジュレーション量を算出する。この算出結果からフリンジスキャンの各ステップにおける被検面2aの各点の干渉縞強度を逆算的に計算する。そして、この逆算的に計算された干渉縞強度と測定により得られた干渉縞強度との差を算出することにより各ステップにおける位相変化誤差を求める。
請求項（抜粋）：
光源からの可干渉光を2分割し、一方の光線束を被検面に入射させてその反射光を物体光とするとともに他方の光線束を基準面に入射させてその反射光を参照光とし、これら物体光および参照光の光干渉により生じる干渉縞を干渉縞画像形成面に形成するとともに、前記基準面または前記被検面を前記可干渉光の光軸方向に移動させて該基準面と前記被検面との相対距離を変化させるフリンジスキャンを行うことにより前記干渉縞の測定を行うように構成された干渉計装置において、前記フリンジスキャンにより前記基準面または前記被検面が所定のステップ量移動する毎に干渉縞画像データを取り込んで前記被検面の各点の干渉縞強度を測定し、この測定結果を用いて前記被検面の各点の位相、平均光強度およびモジュレーション量を算出し、この算出結果から前記フリンジスキャンの各ステップにおける前記被検面の各点の干渉縞強度を逆算的に計算し、この逆算的に計算された干渉縞強度と前記測定により得られた干渉縞強度との差を算出することにより各ステップにおける位相変化誤差を求めるように構成されてなることを特徴とするフリンジスキャンを用いた干渉計装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2F064AA09
, 2F064DD04
, 2F064EE01
, 2F064EE04
, 2F064EE05
, 2F064GG51
, 2F064JJ01
, 2F065AA49
, 2F065AA54
, 2F065BB01
, 2F065DD00
, 2F065DD11
, 2F065EE00
, 2F065FF52
, 2F065FF61
, 2F065HH03
, 2F065MM03
, 2F065NN00
, 2F065QQ00
, 2F065QQ25
, 2F065QQ42
, 2F065SS13
, 2F065UU06
