静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野田雅士 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-097505
公開番号（公開出願番号）：特開平11-013759
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】静圧軸受の優れた動剛性および回転精度と磁気軸受の優れた静剛性とを併せ持ち、コンパクト化が図れる静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置を提供する。【解決手段】静圧軸受9と磁気軸受8とを一体化した静圧磁気複合軸受3とする。この静圧磁気複合軸受3とビルトイン型のモータ5とを組み合わせてスピンドル装置1とする。静圧磁気複合軸受3は、磁気軸受8のステータコア13の内部に、静圧軸受9の給気通路および自成絞り15を設ける。これにより、磁気軸受8と静圧軸受9の部品を兼用させると共に、静圧の軸受隙間dと磁気のギャップとを共用させ、コンパクト化を図る。この静圧磁気複合軸受は、ラジアル軸受の他にアキシャル軸受にも適用できる。

請求項（抜粋）：

磁気軸受の電磁石のコア内に、静圧気体軸受の軸受隙間へ給気する絞りを形成した静圧磁気複合軸受。

IPC (3件)：

F16C 32/00 , F16C 32/04 , B23B 19/02

FI (3件)：

F16C 32/00 C , F16C 32/04 A , B23B 19/02 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

スラスト磁気軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-350990 出願人：株式会社荏原製作所
特開平3-213718
磁気軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-030082 出願人：株式会社荏原製作所

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