特許

J-GLOBAL ID：200903059217203368

透孔板の検査方法および検査装置

発明者： 浅井 吉治 ,  小林 正嘉
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-246631
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068502
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】 シャドウマスク等の透孔板の透孔の寸法異常に起因した光透過率の筋ムラの良否判別の信頼性を向上させる。【解決手段】 シャドウマスクSMの撮像範囲のほぼ全域に該当する処理対象領域SMe0 について、ここに属する階調データの個々をX軸の座標ごとに積算し、2次元分布していたデータの1次元化を行なう。これにより、X軸の座標ごとに一のデータ(濃度値)を有する積算データが得られる。この積算データには、縦ムラTMが生じた箇所では、そのムラの程度を示す濃度値の積算値が得られ、その積算値は前後のデータの積算値から急変し、縦ムラの生じた箇所が顕在化される。その後、所定のフィルタウィンドを有するメディアンフィルタにてこの積算データを平滑化処理して平滑化データを求め、この平滑化データで積算データを除算して規格化データを求め、その最大偏差hsT0を提示する。

請求項（抜粋）：

多数の透孔が概周期的に配列された透孔板について、透孔の寸法異常に起因して筋状に生じる光透過率の筋ムラを検査する透孔板の検査方法において、前記透孔板にその一方の主面側から光を照射して前記透孔板を他方の主面側から撮像し、所定の方向に沿った第1の軸とこれに直交する第2の軸とで定まる平面に個々の階調値が2次元分布した撮像画像の階調データを求める撮像工程と、前記階調データに属する個々の階調値を前記第2の軸の座標ごとに前記第1の軸に沿って積算する積算演算を行ない、前記階調データの積算データを求める積算化工程と、前記積算データを平滑化処理して平滑化データを求める平滑化工程と、前記積算データを前記平滑化データで除算する除算演算を行ない、規格化データを算出する規格化工程と、前記規格化データにおける偏差を提示する偏差提示工程と、を含むことを特徴とする透孔板の検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

G01N 21/88 J ,  G01N 21/88 E ,  G01B 11/30 C ,  G06F 15/62 400

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 欠陥検出方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-068825   出願人：凸版印刷株式会社
• 周期性パターンのムラ定量化方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-062953   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開平4-319650
  
• 特開平4-122844