特許
J-GLOBAL ID:200903059233709980
液滴吐出装置及び液滴吐出方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-345929
公開番号(公開出願番号):特開2008-155114
出願日: 2006年12月22日
公開日(公表日): 2008年07月10日
要約:
【課題】加熱された吐出ヘッドを簡易かつ確実に冷却して、正確な液滴吐出を行うことができる液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提案する。【解決手段】液滴吐出ヘッド34から基板Pに対して液滴Lを吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッド34にワイピングシート92を当接させつつ液滴吐出ヘッド34とワイピングシート92とを相対移動させて液滴吐出ヘッド34を拭うワイピング部90と、ワイピングシート92を液滴吐出ヘッド34に当接するに先立ってワイピングシート92に対して冷却液Wを吹き付ける冷却液塗布部100と、を備える。【選択図】図6
請求項(抜粋):
液滴吐出ヘッドから基板に対して液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて前記液滴吐出ヘッドを拭うワイピング部と、
前記ワイピングシートを前記液滴吐出ヘッドに当接するに先立って前記ワイピングシートに対して冷却液を吹き付ける冷却液塗布部と、
を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (6件):
B05C 11/10
, B05D 1/26
, B05D 3/12
, B05C 5/00
, G02F 1/13
, B41J 2/165
FI (6件):
B05C11/10
, B05D1/26 Z
, B05D3/12 Z
, B05C5/00 101
, G02F1/13 101
, B41J3/04 102H
Fターム (47件):
2C056EA16
, 2C056EA28
, 2C056HA15
, 2C056JB04
, 2C056JB15
, 2H088FA09
, 2H088FA21
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088HA02
, 2H088HA04
, 2H088HA06
, 2H088HA08
, 2H088HA15
, 2H088HA18
, 2H088MA20
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075AC96
, 4D075BB01Y
, 4D075BB18Y
, 4D075BB23X
, 4D075BB24Y
, 4D075BB65Y
, 4D075BB69Y
, 4D075BB93Y
, 4D075CA22
, 4D075CA47
, 4D075CB38
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC24
, 4D075EA10
, 4D075EB07
, 4D075EB43
, 4D075EC10
, 4F041AA05
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA59
, 4F041BA60
, 4F042AA06
, 4F042CC08
, 4F042CC11
, 4F042DH10
引用特許:
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