特許

J-GLOBAL ID：200903059262134873

セラミック軸受を組込んだパルス式レ-ザ-システム用ブロワ-組立体

発明者： アール カイル ウェッブ
出願人/特許権者： サイマー インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239652
公開番号（公開出願番号）：特開2000-077747
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 レーザー室内でガスを循環させるブロワー組立体。【解決手段】 ブロワー組立体(70)は、ファン組立体(102)を回転するため、駆動側軸(72)に作動的に係合した駆動組立体(132)を備える。第1軸受組立体(90A)が、駆動側軸を支持する。ブロワー組立体は、ファン組立体を支持するアイドル側軸(73)と、アイドル側軸の限界を画する第2軸受組立体(90B)を備えることができる。駆動組立体は、ローター(120)上に配置されたモーター(130)を備える。ファン組立体は、複数のブレード(110)を支持する一対のハブ(104A,104B)を備える。第1、第2軸受組立体は、窒化珪素(Si3N4)等のセラミック化合物からなり、ペルフルオロポリアルキルエーテル(PFPE)等の合成油で潤滑される。

請求項（抜粋）：

レーザー装置において、a) レーザー室内にガスを閉じ込めるレーザー空洞を形成する相互接続された壁を有するレーザー室、b) 前記レーザー室により支持される駆動側軸、c) 前記駆動側軸の限界を画し、前記レーザー空洞内の前記ガスに晒され、前記ガスと実質的に反応しないセラミック化合物からなる第1軸受組立体、d) 前記駆動側軸を回転させるため、前記駆動側軸に作動的に係合する駆動組立体、及び、e) 前記ガスを循環させるため、前記レーザー空洞内に配置され、前記駆動側軸に係合するファン組立体、を備えることを特徴とする装置。

IPC (3件)：

H01S 3/036 ,  F16C 33/32 ,  F16C 33/62

FI (3件)：

H01S 3/03 J ,  F16C 33/32 ,  F16C 33/62

引用特許：

審査官引用 (5件)

• エキシマレーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-342545   出願人：株式会社小松製作所
• 特開平4-109685
  
• ガスレーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-198620   出願人：株式会社小松製作所
• 特開平4-109685
  
• 特開平4-109685