特許
J-GLOBAL ID：200903059313049817

TDIセンサを連続的にクロッキングする装置

発明者：
ブラウン デービッド リー

ブラウン デービッド リー について

, 
カオ カイ

カオ カイ について

, 
チャン ユン-ホ

チャン ユン-ホ について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション

ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション について


代理人 (2件)： 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-543493
公開番号（公開出願番号）：特表2009-521138
出願日： 2006年11月30日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：
センサおよびその実装内に電荷を伝播させる方法および装置が提供される。この方法と装置は、試料を検査するために使用され、センサは、蓄積した電荷をTDIセンサのゲート間で進めるように動作する。設計の実施態様は、正弦波信号や台形信号などの複数の位相ずれ信号を表す1組の値を提供する。これらの位相ずれ信号は、変換されてセンサに送られる。変換された信号を利用して、センサは、センサ内の電荷をセンサの端部の方に転送する。フィードスルー補正や非線形性の補正などの態様に対処される。
請求項（抜粋）：
検出システムであって、 フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)と、 FPGAに接続された複数の信号デジタル-アナログ変換器(DAC)であって、FPGAから可変信号を受け取り、FPGAから受け取った各可変信号が他の可変信号と位相がずれている、複数の信号デジタル-アナログ変換器(DAC)と、 複数の信号DACから可変信号を受け取るように構成された複数の入力を備えたセンサとを有し、 複数の信号DACからの可変信号を利用して、センサは、センサ内の電荷をセンサの端部に転送する検出システム。
IPC (4件)：
H04N 5/335 ,  G01N 21/956 ,  G01J 1/44 ,  H01L 27/146
FI (4件)：
H04N5/335 F ,  G01N21/956 A ,  G01J1/44 P ,  H01L27/14 H
Fターム (38件)：
2G051AA51 ,  2G051DA09 ,  2G051EA12 ,  2G065AA04 ,  2G065BA05 ,  2G065BC02 ,  2G065BC15 ,  2G065BC22 ,  2G065BE08 ,  2G065CA30 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA08 ,  4M118DA18 ,  4M118DA20 ,  4M118DB10 ,  4M118GA02 ,  5C024AX01 ,  5C024CX03 ,  5C024CX37 ,  5C024CY16 ,  5C024CY44 ,  5C024GY01 ,  5C024GZ24 ,  5C024HX02 ,  5C024HX15 ,  5C024JX37 ,  5C024JX41 ,  5F064AA08 ,  5F064BB21 ,  5F064BB40 ,  5F064CC10 ,  5F064CC23 ,  5F064HH10
引用特許：
審査官引用 (2件)

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