特許
J-GLOBAL ID：200903080928421251

検査装置、計測装置、検査方法および計測方法

発明者：
大西 浩之

大西 浩之 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-063453
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262509
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：
【要約】【課題】 3次元形状検査を高速に行う検査装置を提供する。【解決手段】 3次元形状検査を行う検査装置1において、対象物9を保持するステージ2、異なった方向からステージ2に向かってスリット光を出射する2つのスリット光出射部31、ステージ2上を撮像するTDIラインカメラ32、および、ステージ2を移動するステージ駆動部21を備える。TDIラインカメラ32の撮像動作とステージ駆動部21が対象物9を移動させる動作とを同期させて撮像を行うことにより、高速に3次元情報を含む画像を取得することができる。また、取得した画像と基準画像とを比較検査することにより、高速に3次元形状検査を行うことができる。
請求項（抜粋）：
対象物の3次元形状を検査する検査装置であって、対象物を保持するステージと、前記ステージに向けてスリット光を出射するスリット光出射部と、前記ステージからの光を受光するTDIラインカメラと、前記スリット光出射部および前記TDIラインカメラに対して前記ステージを相対的に移動させる移動機構と、前記TDIラインカメラにおける撮像動作と前記移動機構とを同期させる制御部と、を備えることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24 ,  G01N 21/956 ,  H04N 5/225
FI (3件)：
G01N 21/956 B ,  H04N 5/225 Z ,  G01B 11/24 A
Fターム (28件)：
2F065AA53 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2G051AA65 ,  2G051AB20 ,  2G051AC15 ,  2G051BA01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CD07 ,  2G051DA07 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051ED11 ,  5C022AA01 ,  5C022AC42 ,  5C022AC69
引用特許：
審査官引用 (4件)
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