回転式塗布装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350261
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201707
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】回転式塗布装置の塗布液飛散防止用カップの内周面に塗布液が固化して付着しドレンタンクへの塗布液の流出を妨害したり、排気口近傍を汚染したりすることを防止することが可能な回転式塗布装置を提供する。【構成】カップ22の底面部には排液口24が設けられ、排液管26を介してドレンボックス28内のドレンタンク30に余剰塗布液が回収される。また、ドレンボックス28からの排気ダクト32が排気ユニットに接続されて、カップ22内が排気される。このため、カップ22に付着した余剰塗布液34を洗い流すためにカップ22内周面にリンス液を供給すると、当該塗布液34は溶解され、リンス液とともにドレンタンク30内に回収される。一方、カップ22内の排気については、ドレンボックス28を介して行われる。

請求項（抜粋）：

基板を回転させて、その基板の表面に所定の塗布液を塗布する回転式塗布装置において、前記基板を取り囲むように配置され、基板回転により前記基板から飛散させられた余剰塗布液を受けるカップと、前記カップに接続され、前記カップの内周面に付着した余剰塗布液を回収する塗布液回収手段と、前記塗布液回収手段内の空間を排気する排気手段と、を有することを特徴とする回転式塗布装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/16 502

引用特許：

審査官引用 (5件)

レジスト塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-150430 出願人：富士通株式会社
特開平4-120227
特開平2-273569

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