特許
J-GLOBAL ID：200903059408316200
金ミラー及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-325464
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271707
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【課題】 金の接着性を高めることができると共に、光学的に透明な金属接着層を提供する。【解決手段】 シリカ表面をSnF2で増感し、PdCl2/HClで活性化した後、シリカ表面に光学的に薄いNi-Pの接着剤層を鍍着することによって、接着性が強化される。Ni-P層は、シリカ表面への金の接着性を強化するには十分であるが、金の薄膜層の照射通過に対する障害として作用するには不十分な厚さで鍍着する。Ni-Pの厚さの一つの目安は、分光光度計で測定して、接着剤層の吸光度が550nmで0.008(850nmで0.003)を上回る。この接着剤層上にeビーム蒸着によって蒸着した厚さ100〜150nmの金の薄膜層は、一般に使用される「Scotchテープ接着性試験」に合格するほど接着性が良好である。光の損失が非常に少ないシリカに金を接着させる能力は、光ファイバや導波管のように、反射面を使用する必要がある光波装置の製造に有用である。
請求項（抜粋）：
シリカ製品の表面上の金属薄膜と、前記金属薄膜上の金の層とからなり、前記金属が、シリカと金との両方に接着するニッケルを含み、金の層がシリカ表面に接着できるほど十分であるが、前記金の層の照射通過に対する障害として作用するには不十分な厚さである、ことを特徴とするシリカ上の金ミラー。
IPC (6件)：
G02B 5/08
, C23C 14/02
, C23C 14/06
, C23C 14/30
, C23C 18/18
, G02B 6/10
G02B 5/08 A
, C23C 14/02 B
, C23C 14/06 R
, C23C 14/30 Z
, C23C 18/18
, G02B 6/10 D
