静電吸着装置およびそれを用いた電子線描画装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-226061
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067884
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】試料を静電力により吸着保持する場合の吸着不良、および接地不良を正確に検出できる静電吸着装置と、それを備えた電子線描画装置を提供する。【解決手段】試料(ウエハ)1が誘電体2上に載置される。試料1の接地電極7と誘電体2側の電極3とに直流電圧4を印加することで、試料1・誘電体2間に静電力を発生させ、この静電力により試料1を誘電体2上に吸着する。直流電圧4の印加に際して、試料1に接触するもう一つの電極8を抵抗測定回路9と接続して、電極8,6間の抵抗値を測定して試料の接地具合を判定する。その後、電極8を電位測定回路10側に接続し、直流電圧13印加時の試料1上の表面電位を測定し、それより試料の接地状況と発生電位の度合いを判定する。

請求項（抜粋）：

試料を保持する部材が誘電体より成り、この誘電体上の試料に接触して該試料を接地する接地電極を備え、この接地電極と前記誘電体側に設けた電極との間に直流電圧を印加して前記試料・誘電体間に静電力を発生させ、この静電力により前記試料を前記誘電体上に吸着する静電吸着装置において、前記接地電極以外に、前記誘電体上の前記試料に接触する抵抗測定用の電極が配置され、この抵抗測定用電極と前記接地電極の間の抵抗値を測定する抵抗測定回路と、この抵抗測定値から前記試料の接地具合を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , G03F 7/20 504 , H01L 21/027 , H02N 13/00

FI (5件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , G03F 7/20 504 , H02N 13/00 D , H01L 21/30 541 L

引用特許：

審査官引用 (1件)

静電吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-046642 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ

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