バンプ用パッド構造

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩佐義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-007400
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208542
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】低い拡散プロセス世代で作られたデバイスでも動作速度を向上させることができるバンプ用パッド構造を提供する。【解決手段】バンプに対応して形成されるバンプ用パッド構造において、バンプ用パッド10の周囲に電気的に絶縁されたメタル14を配置する。

請求項（抜粋）：