特許
J-GLOBAL ID：200903059451498789
サーマルヘッドおよびサーマルヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-025278
公開番号（公開出願番号）：特開平10-217522
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】保護膜の腐食や摩耗が極めて少なく、しかも熱や機械的衝撃に対しても保護膜の割れや剥離の発生を防止して、十分な耐久性を有し、長期に渡って高い信頼性を発揮し、長期に渡って高画質の感熱記録を安定して行うことができるサーマルヘッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】炭素を主成分とし、かつ厚み方向に硬度差を持つ保護膜を有することにより、また、CVDでの保護膜成膜中にバイアス電圧を変更し、もしくはスパッタリングによる成膜中の成膜用ガス流量に対する水素流量を変更することにより、前記課題を解決する。
請求項（抜粋）：
発熱体を保護する保護膜として、炭素を主成分とし、厚み方向に硬度差を持つ保護膜を有することを特徴とするサーマルヘッド。
FI (2件)：
B41J 3/20 111 F
, B41J 3/20 111 H
