プロセスチャンバでの基板位置決め装置、および搬送機構のアーム位置の監視装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031521
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232147
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】搬送用チャンバに設けられた基板搬送機構によって基板をプロセスャンバに搬入する場合にプロセスチャンバでの基板位置決めを簡単かつ正確に行うプロセスチャンバでの基板位置決め装置およびアーム位置監視装置を提供する。【解決手段】プロセスチャンバ13aと、基板搬送機構21が設けられたセパレーションチャンバ12を備え、基板搬送機構はアーム22とフォーク23を有し、フォークで基板を支持し、アームで基板をプロセスチャンバ内に搬送する。さらに基板搬送機構に基板位置検出に使用されるマーク26を設け、セパレーションチャンバの外側にアームが伸び停止位置にあるときマークを測定するCCDカメラ15aを設ける。マークの測定位置データと基準位置データを比較し、その差が補正可能範囲内であれば当該差が実質的に0になるように基板搬送機構の動作を補正する制御手段(16,17,18)を備えている。

請求項（抜粋）：

基板処理を行う少なくとも1つのプロセスチャンバと、基板搬送機構が設けられた搬送用チャンバを備え、前記基板搬送機構は回転・伸縮自在なアームとこのアームの先部に設けられた基板支持部とからなり、前記基板支持部で基板を支持し、前記アームの回転・伸縮動作で前記基板を前記プロセスチャンバの内部の所定位置に搬送し配置するように構成された装置に適用され、前記基板搬送機構に基板位置検出に使用される対象部を設け、前記搬送用チャンバの外側に、前記アームが伸び停止位置にあるとき、前記搬送用チャンバにて前記対象部を測定する撮像装置を設け、前記撮像装置の測定で得られた前記対象部の位置データと予め教示された基準位置データとを比較し、前記位置データと前記基準位置データの差が補正可能範囲内であれば当該差が実質的に0になるように前記基板搬送機構の動作を補正する処理制御手段を備えた、ことを特徴とするプロセスチャンバでの基板位置決め装置。

Fターム (17件)：

5F031CA02 , 5F031FA12 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031JA04 , 5F031JA14 , 5F031JA22 , 5F031JA30 , 5F031JA38 , 5F031JA49 , 5F031LA07 , 5F031MA04 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA32 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (3件)

光学的位置較正システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-151826 出願人：バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
特開平2-083183
半導体装置の製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-295627 出願人：山形日本電気株式会社

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