特許
J-GLOBAL ID：200903059497888476

形状計測装置

発明者：
安藤 護俊

安藤 護俊 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 平戸 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-031888
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230727
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】光を使用して形状計測対象物の形状を三次元計測する形状計測装置に関し、最適な照明を行い、計測目的に適した形状計測を行うことができるようにする。【解決手段】均一照明光を下方向に出射する光源57の下方に透過型の液晶表示パネルからなる二次元フィルタ58を配置し、この二次元フィルタ58を構成する各フィルタ(各画素)の光透過率を個別に制御することにより、計測目的に応じて、形状計測対象物56の表面を照明する光の強度を場所によって異なるものとする。
請求項（抜粋）：
光源と、光透過率を個別に制御可能とされた複数のフィルタを二次元的に配置して構成され、前記光源から出射される光の光路に配置された二次元フィルタとを有し、前記二次元フィルタを透過した光で形状計測対象物を照明する照明手段と、前記形状計測対象物の表面を観測する観測手段とを備えていることを特徴とする形状計測装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G02B 21/06
FI (2件)：
G01B 11/24 K ,  G02B 21/06
引用特許：
審査官引用 (2件)

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