特許
J-GLOBAL ID：200903059562507558
光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法。
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-074702
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343575
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】 鏡筒をコンパクトに構成することができるとともに、鏡筒の中間部付近の光学素子を高精度に駆動することができる光学素子保持装置を提供する。【解決手段】 可動レンズ38aの周縁に係合してその可動レンズ38aを保持するインナリング部44aと、そのインナリング部44aに連結されるアウタリング部44bとを備える。アウタリング部44bをインナリング部44aと一体の部材で形成するとともに、そのインナリング部44aの外側に配置する。インナリング部44aとアウタリング部44bとを、アクチュエータ50の変位に基づいて可動レンズ38aの光軸にほぼ沿う方向に相対移動可能に連結する。
請求項（抜粋）：
光学素子の周縁部を保持する保持部と、前記保持部に連結された連結部と、前記保持部と前記連結部とを相対移動させることにより、前記光学素子を移動する駆動機構とを有することを特徴とする光学素子保持装置。
IPC (4件)：
G02B 7/02
, G02B 13/24
, G03F 7/207
, H01L 21/027
G02B 7/02 C
, G02B 7/02 A
, G02B 13/24
, G03F 7/207 H
, H01L 21/30 515 D
