ダイシング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-131713
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329685
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】大型ワークであっても切削屑等の汚れが表面に付着しない、コンタミネーションフリーのダイシング装置を提供すること。【解決手段】加工中のワークWの上面全面に洗浄水を常時供給する洗浄水ノズル26を設け、該洗浄水ノズル26はワークテーブル31と一緒に移動し、常にワークテーブル31との相対位置が変わらないように構成した。

請求項（抜粋）：

ワークを加工する回転刃と、該ワークを載置して前記回転刃に対して相対的にX及びY方向に移動するワークテーブルとを有するダイシング装置において、洗浄水ノズルが前記ワークテーブル外周近傍に設けられ、前記洗浄水ノズルは前記ワークテーブルと一緒に前記回転刃に対してX及びY方向に相対的に移動して、前記ワークの加工が終了するまで常時ワークの上面全面に水の膜又は水の流れを形成することを特徴とするダイシング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 , B08B 3/02 , B08B 3/12

FI (3件)：

B08B 3/02 D , B08B 3/12 Z , H01L 21/78 F

Fターム (4件)：

3B201AA03 , 3B201AB03 , 3B201BB21 , 3B201BB83

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-206725
特開平4-206725
ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-133145 出願人：ソニー株式会社

全件表示

前のページに戻る