特許
J-GLOBAL ID：200903059664644347
有機金属化合物混合液及びそれを用いた薄膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-276990
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130654
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 不純物濃度の低い高品質の薄膜を長時間連続して形成しかつ高い再現性をもって形成することが可能な有機金属化合物混合液を提供する。前記有機金属化合物混合液を使用した薄膜の形成方法を提供する。【構成】 有機金属化合物混合液において、ジアルキルアルミニウムハイドライド及び炭素数が4以下のアルキル基を有するトリアルキルアルミニウムを含み、前記トリアルキルアルミニウムのモル比が0. 3乃至30%の範囲に設定される。また、薄膜の形成方法において、前記有機金属化合物混合液を準備する工程と、化学気相成長法で基板上にAlを含む薄膜を形成する工程とを備える。
請求項（抜粋）：
ジアルキルアルミニウムハイドライド及び炭素数が4以下のアルキル基を有するトリアルキルアルミニウムを含み、前記トリアルキルアルミニウムのモル比が 0. 3乃至30%の範囲に設定されることを特徴とする有機金属化合物混合液。
引用特許：
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