特許
J-GLOBAL ID：200903059668036783
キノンジアジドスルホン酸エステル、その製法及び用途
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-058826
公開番号（公開出願番号）：特開平8-099952
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 感光剤として有効な化合物を提供し、それを用いて、諸性能のバランスがとれたポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】 式(I)で示される化合物が、感光剤として有効である。式中、R1 とR2 の一方は-OQ4 であり;R1 とR2 の他方及びR3 〜R5 は水素、アルキル、シクロアルキル、アルケニル、アルコキシ又はハロゲンであるが、R2 が-OQ4 のときは、R3 とR4 は共に水素であるか、又はR1 とR5の少なくとも一つは水素以外であり;R6 とR7 は水素若しくはアルキルであるか、又は両者でシクロアルカン環を形成し;Q1 〜Q4 の少なくとも一つはo-キノンジアジドスルホニルであり、残りは水素である。この化合物をアルカリ可溶性ノボランク樹脂と混合して、ポジ型レジスト組成物が得られる。【効果】 このポジ型レジスト組成物は、諸性能のバランスに優れ、現像後のスカムの発生もない。
請求項（抜粋）：
一般式(I)(式中、R1 及びR2 の一方は-OQ4 を表し;R1 及びR2 の他方、R3 、R4 並びにR5 は互いに独立に、水素、炭素数6以下のアルキル、炭素数6以下のシクロアルキル、炭素数6以下のアルケニル、炭素数6以下のアルコキシ又はハロゲンを表すが、 R2 が-OQ4 のときは、R3 及びR4 がともに水素であるか、又はR1 及びR5 の少なくとも一つが炭素数6以下のアルキル、炭素数6以下のシクロアルキル、炭素数6以下のアルケニル、炭素数6以下のアルコキシ若しくはハロゲンであり;R6 及びR7 は互いに独立に、水素、炭素数6以下のアルキル若しくは炭素数6以下のアルケニルを表すか、又は両者が末端で一緒になって、両者が結合する炭素原子とともに炭素数6以下のシクロアルカン環を形成し;Q1 、Q2 、Q3 及びQ4 の一つはo-キノンジアジドスルホニルを表し、残りは互いに独立に、水素又はo-キノンジアジドスルホニルを表す)で示される化合物。
IPC (3件)：
C07C309/76
, C07C303/28
, G03F 7/022
