特許
J-GLOBAL ID：200903059696854378
高解像検出装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-050044
公開番号（公開出願番号）：特開2007-225563
出願日： 2006年02月27日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】定在エバネッセント光を照明光に用いることで界面近傍における横分解能を向上させる。また、定在照明光により、光学式のスループットを持ち合わせたまま従来の光学式よりも高い解像力とする。【解決手段】試料面上で2光束を干渉させ定在波照明を行う。2光束のうち一方の光路を圧電素子により変化させ位相差を持たせることにより、定在波照明はナノオーダでシフトする。定在波照明がシフトするとCCD等の受光部で得られる散乱光の像は微小に変化する。コンピュータによりナノオーダの光散乱変化を後処理することによりレイリー限界を超えた解像を行う。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
光源から得られた2つの光束を試料の測定面上で干渉させて試料を定在波照明を行い、2つの光束のうち一方の光路を変化させ位相差を持たせることにより、定在波照明をシフトさせるための照明部と、
位置i(i=1〜n)における複数の受光素子を有し、試料からの散乱光を含む測定光の受光量Xiを測定する受光部と、
前記照明部及び前記受光部により、試料の光散乱情報を含む画像を取得し、解像処理を実行する処理部と、
を備え、
前記処理部は、測定面上の位置jにおける照明光の強度を示す照明光量Ij、及び、測定面上の位置jと受光素子の位置iとの関係に応じた回折の程度を示す回折寄与率D(|i-j|)を得て、
前記処理部は、位置i(i=1〜n)における複数の受光素子を有する受光部により、試料からの散乱光を含む測定光のn個の受光量Xiを測定し、
前記処理部は、前記照明部を制御して、2つの光束のうち一方の光路を変化させ位相差を持たせることにより、定在波照明の位置をm通りシフトして、少なくとも前記n個の受光量Xiを測定することを繰り返し、
前記処理部は、受光量Xi及び照明光量Ij及び回折寄与率D(|i-j|)により、試料の位置jにおける試料分布を表す散乱効率αjを未知数としたn個の次式に示す方程式に基づき、m通りの定在波照明により得られたn×m個の連立方程式を解くことにより、散乱効率αjを求め、
IPC (3件)：
G01N 21/956
, H01L 21/66
, G01N 21/84
G01N21/956 A
, H01L21/66 J
, G01N21/84 E
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051BB09
, 2G051BB11
, 2G051BC05
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 4M106AA01
, 4M106CA39
, 4M106DB04
, 4M106DB19
, 4M106DJ11
, 4M106DJ20
