研究者
J-GLOBAL ID:201301078932798140   更新日: 2020年09月01日

高橋 哲

タカハシ サトル | Takahashi Satoru
所属機関・部署:
職名: 教授
その他の所属(所属・部署名・職名) (1件):
  • 大学院工学系研究科  教授
ホームページURL (1件): http://kaken.nii.ac.jp/d/r/30283724.ja.html
研究分野 (5件): 加工学、生産工学 ,  光工学、光量子科学 ,  ナノマイクロシステム ,  機械力学、メカトロニクス ,  ロボティクス、知能機械システム
研究キーワード (15件): レーザ応用計測 ,  エバネッセント光 ,  光造形 ,  欠陥検査 ,  光散乱パターン ,  インプロセス計測 ,  局在フォトン ,  近接場光 ,  マイクロ光造形法 ,  マルチフォトンプローブ ,  マイクロマシン ,  加工計測 ,  三次元マイクロ加工 ,  欠陥計測 ,  膜厚計測
論文 (167件):
  • Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi. Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: Verification of proposed concept. Precision Engineering. 2020. 61. 93-102
  • 道畑 正岐, 小林 夢輝, 儲 博懐, 高増 潔, 高橋 哲. マイクロスケール標準球計測に向けたWhispering gallery mode共振の安定的励起計測システムの開発. 日本機械学会論文集. 2019. 85. 880
  • 道畑 正岐, 林 政洋, 代慶 真, 高増 潔, 高橋 哲. ベッセルビームの光放射圧ポテンシャルを用いた マイクロスケールAdditive Manufacturingの加工原理検証. 日本機械学会論文集. 2019. 85. 880
  • Shuzo Masui, Yuki Torii, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi. Fabrication of nano/micro dual-periodic structures by multi-beam evanescent wave interference lithography using spatial beats. Optics express. 2019. 27. 22. 31522
  • Shiwei Ye, Satoru Takahashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Hans Nørgaard Hansen, Matteo Calaon. Quantitative depth evaluation of microgrooves on polymer material beyond the diffraction limit. Precision Engineering. 2019. 59. 56-65
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MISC (285件):
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特許 (29件):
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書籍 (8件):
  • 異物の分析、検出 事例集
    技術情報協会 2020 ISBN:9784861047732
  • Metrology. Precision Manufacturing, Gao W. (eds)
    Springer, Singapore 2019 ISBN:9789811049378
  • Micro and Nano Fabrication Technology. Micro/Nano Technologies, vol 1., Yan J. (eds)
    Springer, Singapore 2018 ISBN:9789811065880
  • ナノ・マイクロスケール機械工学
    東京大学出版会 2014 ISBN:4130628364
  • ナノイメージング
    エヌ・ティー・エス 2008 ISBN:4860431537
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講演・口頭発表等 (40件):
  • 光を用いた情報取得と微小欠陥センシング
    (【招待】2019年度新技術導入・活用研究会〜最新のセンシング技術とデバイス開発〜 2020)
  • ナノマイクロものづくりのための光分解能限界の超越
    (【招待講演】第131回将来技術研究会 2019)
  • New developments on micro/nano manufacturing science based on evanescent light
    (【招待講演】IMCC2017 2017)
  • New developments for next-generation precision engineering opened with localized light energy control
    (【基調講演】ASPEN2017 2017)
  • High sensitive and super resolution optical inspection of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave
    (【招待講演】 ISMTII2017 2017)
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学位 (1件):
  • 博士(工学) (大阪大学)
経歴 (6件):
  • 2014/04 - 現在 東京大学 先端科学技術研究センター 教授
  • 2013/06 - 2014/03 東京大学 大学院工学系研究科 教授
  • 2003/01 - 2013/06 東京大学 大学院工学系研究科 准教授(助教授)
  • 2011/05 - 2012/02 トロント大学 客員教授
  • 2002/10 - 2002/12 大阪大学 大学院工学研究科 講師
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受賞 (28件):
  • 2019/11 - ASPEN2019 Best Paper Award
  • 2019/03 - 精密工学会 第15回精密工学会論文賞
  • 2018/11 - ICPE2018 Best Paper Award
  • 2018/10 - 日本機械学会 機械加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰
  • 2017/09 - ISMTII2017 Best Paper Award 2017
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所属学会 (8件):
CIRP ,  european Society for Precision Engineering and Nanotechnology ,  American Society for Precision Engineering ,  砥粒加工学会 ,  日本機械学会 ,  精密工学会 ,  aspe ,  euspen
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