特許
J-GLOBAL ID：200903059705953813
アルカリ金属拡散バリヤー層
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-018311
公開番号（公開出願番号）：特開平9-227167
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1997年09月02日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基体から、媒体例えば導電性コーティング等のコーティングへの、ナトリウムイオン等のアルカリ金属イオンの拡散を防止するバリヤー層を有する物品等の提供。【解決手段】 表面にアルカリ金属イオンを有するガラス基体と、前記基体の表面の上方にその表面から一定間隔をおいて置かれた媒体、但し、この媒体は予め決めたアルカリ金属イオン濃度がこの媒体の機能を低下させることを特徴とする、と、前記ガラス基体と前記媒体との間にアルカリ金属イオンバリヤー層を与えるための、前記ガラス基体と前記媒体との間のスパッタリング済み金属酸化物非晶質層、但し、非晶質層は180Å未満の厚さと前記金属酸化物の結晶質密度の90%以上の密度とを有する、とから成る物品。
請求項（抜粋）：
表面にアルカリ金属イオンを有するガラス基体と、前記基体の表面の上方にその表面から一定間隔をおいて置かれた媒体、但し、この媒体は予め決めたアルカリ金属イオン濃度がこの媒体の機能を低下させることを特徴とする、と、前記ガラス基体と前記媒体との間にアルカリ金属イオンバリヤー層を与えるための、前記ガラス基体と前記媒体との間のスパッタリング済み金属酸化物非晶質層、但し、非晶質層は180Å未満の厚さと前記金属酸化物の結晶質密度の90%以上の密度とを有する、とから成る物品。
IPC (3件)：
C03C 17/34
, C03C 27/06 101
, G02F 1/1333 505
C03C 17/34 Z
, C03C 27/06 101 F
, G02F 1/1333 505
