気相成長装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：木戸一彦 , 木戸良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-028547
公開番号（公開出願番号）：特開2009-188289
出願日： 2008年02月08日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】自公転型の気相成長装置において、複数の基板の温度を均一化することができる気相成長装置を提供する。【解決手段】サセプタ13の外周部に回転可能に設けた回転歯車部材15に、スペーサリング26を介装した状態で基板保持部材14を保持し、複数の基板保持部材の表面温度に応じて前記スペーサリングの厚さを変化させることにより、複数の基板保持部材の表面温度を均一化し、各基板保持部材にそれ保持した各基板16の温度分布を極力小さくする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チャンバー内に回転可能に設けられた円盤状のサセプタと、該サセプタの外周部に回転可能に設けられた複数の円筒状の回転歯車部材と、該回転歯車部材に保持される円柱状の基板保持部材と、前記回転歯車部材の外周に設けられた外歯車に歯合する内歯車を備えた固定歯車部材と、前記チャンバーのサセプタ表面側に設けられた原料ガス導入部と、前記チャンバーのサセプタ裏面側に設けられた不活性ガス導入部と、前記チャンバーの反原料ガス導入部側及び反不活性ガス導入部側にそれぞれ設けられた排気部と、前記チャンバーのサセプタ裏面側に設けられた加熱手段とを備えた自公転機構を有する気相成長装置において、前記基板保持部材は、上面に基板載置部を設けた大径部と、該大径部の下面から突出した小径部と、大径部と小径部との間の水平方向の下向き段部とを有し、前記回転歯車部材は、内周上部の前記基板保持部材の大径部を収納する大径収納部と、内周下部の前記基板保持部材の小径部を収納する小径収納部と、大径収納部と小径収納部との間で前記基板保持部材の下向き段部を載置する載置段部とを有し、前記基板保持部材の下向き段部と前記回転歯車部材の載置段部との間に、回転歯車部材に保持した基板保持部材の高さ調整を行うためのスペーサリングを介装したことを特徴とする気相成長装置。

IPC (3件)：

H01L 21/205 , C23C 16/46 , H01L 21/683

FI (3件)：

H01L21/205 , C23C16/46 , H01L21/68 N

Fターム (22件)：

4K030FA10 , 4K030GA02 , 4K030GA06 , 4K030JA10 , 5F031CA02 , 5F031HA01 , 5F031HA10 , 5F031HA37 , 5F031HA42 , 5F031HA59 , 5F031MA28 , 5F031NA04 , 5F031PA30 , 5F045AA04 , 5F045AB14 , 5F045AC08 , 5F045AC12 , 5F045AC15 , 5F045BB03 , 5F045DP15 , 5F045DQ10 , 5F045EM02

引用特許：

出願人引用 (2件)

気相成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-066458 出願人：大陽日酸株式会社
気相成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-096343 出願人：大陽日酸株式会社

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