特許

J-GLOBAL ID：200903059715741083

表面形状計測方法及び計測装置

発明者： 志水 徹
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-020159
公開番号（公開出願番号）：特開2006-208174
出願日： 2005年01月27日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】 短い計測時間で計測対象面の形状を計測することが可能な表面形状計測方法及び計測装置を提供する。【解決手段】 所定の波長幅を有する計測光を供給する計測光供給部10と、計測対象面S1からの反射光及び参照光を干渉させる計測光学系20と、干渉光強度を検出する検出手段であるCCDカメラ15と、計測制御装置50とを備えて計測装置1Aを構成する。そして、反射光と参照光との光路長差について微小計測間隔及び広域計測間隔を設定するとともに、広域計測間隔でn個の光路長差を設定し、そのそれぞれの近傍において微小計測間隔で光路長差を変化させて干渉光強度の変化を計測し、得られた計測結果から求められるn個の干渉強さに基づいて、計測対象面S1の照射方向の高さを導出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定の波長幅を有する計測光を計測対象面に照射し、前記計測対象面からの反射光、及び前記反射光に対する光路長差が制御可能な参照光を干渉させて、得られる干渉光強度の前記光路長差についての変化から前記計測対象面の形状を計測する計測方法であって、 前記計測対象面における前記計測光の照射方向からみた計測位置に対して、前記反射光と前記参照光との前記光路長差について、前記計測光の波長に基づく微小計測間隔、及び前記微小計測間隔よりも大きい広域計測間隔を設定する設定ステップと、 前記計測位置に対して、前記光路長差として前記広域計測間隔でn個の光路長差(nは3以上の整数)を設定し、そのそれぞれの近傍において前記微小計測間隔で光路長差を変化させて前記干渉光強度の変化を計測する計測ステップと、 前記計測ステップで得られた前記干渉光強度の変化のn個の計測結果から求められる前記n個の光路長差のそれぞれでの干渉強さに基づいて、前記計測位置における前記計測対象面の前記照射方向の高さを導出する導出ステップと を備えることを特徴とする表面形状計測方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B11/24 D ,  G01B9/02

Fターム (30件)：

2F064AA09 ,  2F064EE01 ,  2F064FF03 ,  2F064FF07 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG42 ,  2F064GG52 ,  2F064GG53 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ03 ,  2F065AA24 ,  2F065AA51 ,  2F065DD06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL22 ,  2F065LL46 ,  2F065MM02 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ29

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許第5,133,601号公報
  
• 表面形状測定方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-241640   出願人：財団法人理工学振興会, 東レエンジニアリング株式会社