特許
J-GLOBAL ID：200903032475738084

表面形状測定方法及びその装置

発明者：
小川 英光

小川 英光 について

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平林 晃

平林 晃 について

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北川 克一

北川 克一 について


出願人/特許権者：
財団法人 理工学振興会

財団法人 理工学振興会 について

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東レエンジニアリング株式会社

東レエンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241640
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066122
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】 測定対象面の凹凸形状を高速で高精度に測定することができる表面形状測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 バンドパスフィルタ11は、白色光源10からの白色光を特定周波数帯域に制限する。その白色光は駆動部24によって相対的距離が変動される参照面15と測定対象面とに照射されて、その光路差の変化によって干渉縞が生じる。CCDカメラ19は、干渉縞とともに測定対象面を撮像する。CPU20は、測定対象面31の特定箇所で変化する干渉光の強度値を、特定周波数帯域の帯域幅に基づいて予め定められたサンプリング間隔でサンプリングする。さらに、その特定周波数帯域の帯域幅に基づいて、前記干渉光のピーク位置と一致するピーク位置を有する特定関数を推定する。その特性関数のピーク位置の高さを求めることで、測定対象面31の凹凸形状を測定する。
請求項（抜粋）：
白色光源からの白色光を測定対象面と参照面とに照射しながら、前記両面の相対的距離を変動させることにより干渉縞の変化を生じさせ、このときの干渉光の強度値の変化を前記測定対象面上の複数の特定箇所について測定して得られた前記各特定箇所の干渉光強度値群に基づいて前記複数個の特定箇所の高さをそれぞれ求めて、前記測定対象面の凹凸形状を測定する表面形状測定方法において、前記白色光源からの白色光の周波数帯域を特定周波数帯域に制限する第1の工程と、前記特定周波数帯域の白色光が照射された前記測定対象面と参照面との相対的距離を変動させる第2の工程と、前記測定対象面と参照面との相対的距離の変動によって生じる干渉縞の変化に応じた、前記測定対象面の特定箇所における干渉光の強度値を、前記特定周波数帯域の帯域幅に応じたサンプリング間隔で順次取り込んだ干渉光強度値群を取得する第3の工程と、前記干渉光強度値群から求まる干渉光の強度値変化の理論的な波形の振幅成分に基づく特性関数を推定する第4の工程と、前記推定された特性関数のピーク位置に基づいて、前記特定箇所の高さを求める第5の工程とを備えることを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00
FI (3件)：
G01B 11/24 D ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G
Fターム (46件)：
2F064AA09 ,  2F064CC10 ,  2F064EE01 ,  2F064FF03 ,  2F064FF07 ,  2F064GG22 ,  2F064GG42 ,  2F064GG44 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ06 ,  2F064JJ15 ,  2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF52 ,  2F065FF67 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL22 ,  2F065LL46 ,  2F065PP04 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
引用特許：
審査官引用 (4件)
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