特許
J-GLOBAL ID：200903059750605516
ジャイロセンサ
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
, 樋口 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-247427
公開番号（公開出願番号）：特開2006-064538
出願日： 2004年08月26日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】 駆動質量体を支持基板に交差する方向に振動させ、それに駆動ばねを介して連結された検出質量体における前記振動の方向とは垂直な面内での変位量から前記面内の所定軸線回りの角速度を検出するジャイロセンサにおいて、検出値の温度依存性を低減する。【解決手段】 シリコンを彫り出して形成される主基板1の一方の面にガラス基板から成る支持基板が、他方の面にガラス基板から成るキャップが積層されて封止されるジャイロセンサにおいて、主基板1を、検出質量体12を中心として、その両側に駆動質量体11A,11Bを一対で対称に配置し、かつ同位相で振動させることで、検出質量体12に発生する支持基板に交差する方向の振動を抑制し、さらに基端部が前記支持基板に接続される一対の検出ばね15の遊端部を前記検出質量体12の中央部に接続し、片持ちで支持させることで、主基板1と支持基板との線膨張率に差があっても、熱応力の発生を無くす。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
支持基板と、半導体基板から成る主基板とを備えて成るジャイロセンサにおいて、前記主基板は、
基端部が前記支持基板に固定され、前記支持基板に沿った面内で一方向に延び、前記一方向とは直交方向に撓み変形可能な一対の検出ばねと、
前記一対の検出ばねの遊端部に接続されることで、前記検出ばねを介して支持基板に変位可能に支持される検出質量体と、
前記検出質量体の前記一方向の両側に相互に対称に配置され、相互に同位相で前記支持基板に交差する方向に振動するように駆動される一対の第1駆動質量体および第2駆動質量体と、
前記第1駆動質量体および第2駆動質量体を前記検出質量体にそれぞれ連結する第1駆動ばねおよび第2駆動ばねと、
前記支持基板に沿った面内での前記検出質量体の変位量を検出する検出手段とを含むことを特徴とするジャイロセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105BB09
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD07
, 2F105CD13
