特許

J-GLOBAL ID：200903059758046311

紫外線結像光学システム

発明者： 丸山 晃一 ,  岩城 真 ,  若宮 俊一郎 ,  久保田 重夫 ,  菅沼 洋 ,  武田 実
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社 ,  ソニー株式会社
代理人 (1件)： 三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321033
公開番号（公開出願番号）：特開平8-179202
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】 組立調整時及び使用時にレンズ性能を容易に評価することができる紫外線結像光学システムを得ること。【構成】 紫外線光源からの光束を平行光束化するコリメートレンズと;このコリメートレンズからの平行光束を結像する結像レンズと;コリメートレンズからの射出平行光束と、結像レンズを透過して反射体で反射して再び結像レンズを透過した反射光との少なくとも一方を外部観察系へ導く、コリメートレンズから結像レンズに至る平行光束中に配設された光分岐系と;を備えた紫外線結像光学システム。

請求項（抜粋）：

紫外線光源からの光束を平行光束化するコリメートレンズと;このコリメートレンズからの平行光束を結像する結像レンズと;コリメートレンズからの射出平行光束と、結像レンズを透過して反射体で反射して再び結像レンズを透過した反射光との少なくとも一方を外部観察系へ導く、上記コリメートレンズから結像レンズに至る平行光束中に配設された光分岐系と;を備えたことを特徴とする紫外線結像光学システム。

IPC (2件)：

G02B 13/14 ,  G02B 13/24

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 特開昭59-072728
  
• 特開平2-257115
  
• 特開平4-337438
  
• 特開昭61-126403
  
• 特開昭61-271402
  
• 特開昭63-237521
  
• 露光方法及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-318163   出願人：株式会社日立製作所