特許
J-GLOBAL ID：200903059780856408
シート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-240607
公開番号（公開出願番号）：特開2003-047922
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：
【要約】【課題】 面倒なメインテナンス等を必要とせず、シート部材の表面に付着した塵を確実にすることのできるシート部材の塵除去装置を提供すること。【解決手段】 CCDカメラでCSPテープ12の表面を読み取る直前に、CSPテープ12をノズル60のスリット62内を通過させ、上下の多数の小孔64から高圧の空気を噴出して、高速(5m/s以上)の空気をCSPテープ12の表面に沿って流し、表面に付着した塵を除去する。
請求項（抜粋）：
シート部材表面に付着した塵を除去するシート部材の塵除去装置であって、前記シート部材表面との間に狭い間隙を設けて配置され、シート部材表面に向けて孔から高圧の空気を噴出して前記狭い間隙に前記シート部材表面に沿って高速の空気流を生成する空気噴出面と、前記空気噴出面の孔に向けて圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、を有することを特徴とするシート部材の塵除去装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B08B 5/02 Z
, G01N 21/892 A
2G051AA32
, 2G051AA41
, 2G051AA56
, 2G051AB01
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 3B116AA08
, 3B116AB01
, 3B116BB21
, 3B116BB90
