原位置ウェーハ温度光プローブを用いた連続ウェーハ温度計測に基づくプラズマ・リアクタにおけるウェーハ温度ドリフトの修正

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150139
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358121
出願日： 2001年04月11日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェーハのプラズマ処理を精密に制御する方法及び装置に関する。【解決手段】本発明は、ウェーハの裏面のすぐ隣にあって裏面に面する端部を有する光ファイバを含む光温度センサ、又は、蛍光・光温度センサを使用することにより、処理中にウェーハ温度を連続的に監視する問題を解決する。この光ファイバは、ウェーハ・リフトピンのうちの1つの中に光ファイバがその中を通る軸線方向の空隙を設けることにより、プラズマ処理を邪魔することなく収容される。ウェーハ裏面に面するこのファイバの端部は、中空のリフトピンの端部と符合する。もう一方の端部は、「外部」光ファイバを経由して、リアクタチャンバ外側にある温度プローブ電子装置に結合される。

請求項（抜粋）：

処理される半導体ウェーハを支持するウェーハ支持具と、前記ウェーハ支持具を通って延び、上端部で前記ウェーハの裏面に当接する複数の細長いリフトピンとを包含する真空チャンバを有するプラズマ・リアクタにおいて、前記リアクタにおける前記ウェーハのプラズマ処理中に前記ウェーハの温度を連続的に監視する温度計測装置であって、前記リフトピンのうちの1つを通って延び、前記1つのリフトピンの上端部にほぼ符合する上端部を持ち、前記中空のリフトピンの下端部を通って延びる、下端部を有する光パイプと、前記光パイプの下端部に結合される光温度計測センサと、を含むことを特徴とする温度計測装置。

Fターム (10件)：

5F004AA01 , 5F004BA20 , 5F004BB13 , 5F004BB18 , 5F004BB22 , 5F004BB25 , 5F004BC08 , 5F004BD07 , 5F004CA04 , 5F004DB07

引用特許：

審査官引用 (5件)

半導体製造装置の基板測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-293448 出願人：国際電気株式会社
特開平1-106433
特開平2-239620

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