特許

J-GLOBAL ID：200903059876188589

ステージ位置決め制御装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-066682
公開番号（公開出願番号）：特開平8-241848
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 水平面内の位置決めを行なう粗動ステージ上に鉛直方向の位置および鉛直軸からの傾きを制御する微動ステージを搭載してなるステージ位置決め制御装置の位置決め性能を向上する。【構成】 水平面内を位置決めするXYステージ19と、アクチュエータ10M,10R,10Lが配置された微動ステージ9と、XYステージ制御装置21〜29と、微動ステージ制御装置100とからなり、XYステージ制御装置内のステップ駆動信号を検出しこの駆動信号をステップ駆動期間だけ選択するためのスイッチ手段30と、このスイッチ手段で選択された信号に対して適切な周波数整形を施すためのフィードフォワード補償器31とを設け、このフィードフォワード補償器の出力信号をXYステージのステップ駆動の期間だけ微動ステージ制御装置へ運動モードを考慮してフィードフォワードする。

請求項（抜粋）：

床面上に設置された除振装置である定盤に搭載され水平面内を位置決めするXYステージと、前記XYステージの上に搭載され鉛直軸方向の位置と鉛直軸からの傾きを制御するようにアクチュエータが配置された微動ステージと、前記XYステージを位置決めするためのXYステージ制御装置と、前記微動ステージを位置決めするための微動ステージ制御装置とからなるステージ位置決め制御装置において、前記XYステージを位置決めするためのステップ駆動信号に対し運動モードに応じた周波数整形を施した補償信号を前記XYステージのステップ駆動期間だけ前記微動ステージ制御装置へフィードフォワードする手段を設けたことを特徴とするステージ位置決め制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  G05D 3/12 305

FI (4件)：

H01L 21/30 511 ,  G03F 9/00 H ,  G05D 3/12 305 Z ,  H01L 21/30 515 G